辽宁暖通空调知识：半导体无尘室系统维护规定

（1）砂滤机应定期逆时。

em">（2）预滤应每1-2个月更新。

（3）膜管应视其去除率及产水量做必要之清洗或更新。

（4）树脂混床视比电阻值更新。

（5）精密过滤约每2-4个月更新。

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