260mm透明石英玻璃管材通过部级鉴定

    由中国建筑材料联合会科技教育委员会、清华大学、中国电子材料行业协会、中国建筑玻璃与工业玻璃协会、中国建筑材料科学研究总院、中国建筑材料检验认证中心、上海强华石英有限公司、北京中关村科技园区管委会等单位的9名专家组成的鉴定小组，对江苏省连云港市东海县宏伟石英制品有限公司提出的“半导体产业用直径260毫米透明石英玻璃管材研制与应用”组织了项目鉴定会。在鉴定会上，专家们通过参观生产现场、阅读申报资料、听取研究报告和查新资料、专家质疑、申报单位答辩等多个环节后，专家鉴定小组一致通过了部级新产品和其科技成果的鉴定。

    与会专家通过对生产现场的考察和会议讨论，一致认为东海县宏伟石英制品有限公司对用连熔工艺制备直径200—260毫米大规格石英玻璃管核心技术及其设备的优化设计，开展了大量研发工作，攻克了一系列的关键技术。

    其成果的突出创新点是：1、在石英原料的提纯加工技术上，采用了四组化学浮选法，提纯后的石英原料纯度达到99.99%，13种杂质元素总含量小于20ppm；2、在大尺寸直径540毫米钨坩锅和成形器的结构优化设计与匹配技术以及物料、气控、水控、电控系统的均衡上创新了优化配置技术；3、直径200—260毫米高质量透明石英管材具有规格尺寸大、纯度和精度高、质量一致性好等特点，填补了国内同类产品的空白，产品的主要技术性能指标达到了国际同类产品先进水平。

    集成电路作为信息产业的基础和高新技术产业的重中之重，半导体产业是国家信息产业科技发展“十一五”规划和“2020年中长期规划纲要”的重点发展领域。大规格石英玻璃管材已成为半导体产业发展不可缺少的重要产品之一。目前国内集成电路产业需求大规格石英玻璃管材，大部分从美国进口。而此次通过鉴定的半导体产业用透明石英玻璃扩散管材产品，攻克了连熔炉拉制外径大于260毫米以上大规格石英玻璃管材的难题，特别在连熔炉关键技术装备的集成创新上，掌握了生产大规格石英玻璃管的成套技术，充分体现了企业的自主创新能力和水平。这次鉴定会由中国建筑材料联合会科技部组织并主持。

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