新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池

申 请 号： 95207923.2 申 请 日： 1995.04.17  名 称： 新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池 公 开 (公告) 号： CN2274375 公开(公告)日： 1998.02.11 主 分 类 号： H01L31/105 分案原申请号： 分 类 号： H01L31/105;H01L31/02 颁 证 日： 1997.12.05 优 先 权： 申请(专利权)人： 南开大学 地 址： 300071天津市卫津路94号  发 明 (设计)人： 孙仲林; 徐温元; 耿新华 国 际 申 请： 国 际 公 布： 进入国家日期： 专利 代理 机构： 南开大学专利事务所 代 理 人： 解松凡; 胡安朋  摘要 本实用新型的名称是新型结构的玻璃衬底内连式弱光非晶硅电池，属于非晶硅材料光电器件。现有技术中，采用等离子体辉光放电制备非晶硅光电器件时，有两个问题：一是器件中存在透明导电电极（ＩＴＯ）使光电流传输特性不好，二是器件内部存在较多界面态，导致光电流损失。本实用新型采用了：１．在透明导电电极（ＩＴＯ）和Ｐ层之间制备一高传输Ｔ层膜２，在器件的Ｐ层和Ｉ层之间制备梯度层，并进行后Ｈ+处理，使电流增大，电压增高，改善了电池的性能，扩大了电池的使用范围。